半導(dǎo)體制造前道工序藥液傳輸
在半導(dǎo)體晶圓清洗與蝕刻工序中，LYX-0961-6BUS作為核心流量控制部件，承擔(dān)高純藥液與清洗液的微小流量精準(zhǔn)輸送任務(wù)。該場景需嚴(yán)格控制藥液用量，避免過量蝕刻或清洗不充分影響晶圓品質(zhì)，同時要求部件無金屬污染、耐腐蝕性強。此型號憑借無金屬全氟材質(zhì)結(jié)構(gòu)，適配氫氟酸、氨水等腐蝕性藥液，搭配氣控閥一體功能，可與CKD精致液位開關(guān)、回吸閥協(xié)同構(gòu)建閉環(huán)控制回路。實際應(yīng)用中，通過精準(zhǔn)調(diào)節(jié)100mL/min以下微小流量，實現(xiàn)藥液均勻噴淋至晶圓表面，配合閥位鎖定功能，防止工況中意外觸碰導(dǎo)致流量波動，保障每批次晶圓處理一致性，適配半導(dǎo)體車間高密度管路布局，輕量化設(shè)計便于集成至精密清洗設(shè)備內(nèi)部。
生物醫(yī)藥試劑精準(zhǔn)加注
在生物實驗室與醫(yī)藥無菌注射劑灌裝生產(chǎn)線中，該型號用于微量試劑、緩沖液的精準(zhǔn)加注與循環(huán)控制。生物醫(yī)藥場景對介質(zhì)純度要求極高，不允許出現(xiàn)材質(zhì)污染或泄漏，且需穩(wěn)定控制微升級流量，保障實驗數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性與藥品劑量精度。LYX-0961-6BUS通過精密針形閥芯設(shè)計，實現(xiàn)微小流量的線性調(diào)節(jié)，搭配PTFE與FKM復(fù)合密封件，在0~0.3MPa工作壓力下保持穩(wěn)定密封，適配生物相容性流體傳輸。在細(xì)胞培養(yǎng)實驗中，可實現(xiàn)緩沖液的閉環(huán)循環(huán)輸送，維持培養(yǎng)環(huán)境流體穩(wěn)定性；在試劑分裝環(huán)節(jié)，與灌裝閥、在線檢漏設(shè)備聯(lián)動，精準(zhǔn)控制每支試劑加注量，減少液體損耗，同時一體化配管設(shè)計便于無菌環(huán)境下的安裝與維護，符合醫(yī)藥行業(yè)潔凈生產(chǎn)要求。
精細(xì)化工反應(yīng)釜添加劑控制
在精細(xì)化工行業(yè)的反應(yīng)釜物料控制場景中，此型號用于腐蝕性添加劑、催化劑的微小流量輸送與調(diào)節(jié)。精細(xì)化工反應(yīng)對添加劑用量敏感，流量波動易導(dǎo)致反應(yīng)不充分或產(chǎn)物雜質(zhì)超標(biāo)，且工況中常接觸各類腐蝕性介質(zhì)，對閥門耐腐性與穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛。LYX-0961-6BUS適配5~60℃流體溫度范圍，可耐受化工車間常規(guī)環(huán)境溫度，無金屬結(jié)構(gòu)設(shè)計有效抵御腐蝕性介質(zhì)侵蝕，避免材質(zhì)損耗影響調(diào)節(jié)精度。實際應(yīng)用中，通過氣控閥一體功能實現(xiàn)流量與閥開閉的聯(lián)動控制，按反應(yīng)進程精準(zhǔn)調(diào)節(jié)添加劑注入速率，配合精密減壓閥穩(wěn)定系統(tǒng)壓力，確保添加劑均勻融入反應(yīng)體系。其靈活的安裝方式可適配反應(yīng)釜周邊復(fù)雜管路布局，簡化冗余部件，減少故障點，保障連續(xù)生產(chǎn)工況下的穩(wěn)定運行。
電子元器件清洗液循環(huán)系統(tǒng)
在電子元器件（如芯片、傳感器）的精密清洗工序中，LYX-0961-6BUS用于清洗液的循環(huán)輸送與流量控制，保障清洗效果的同時減少廢液產(chǎn)生。該場景下，清洗液需以微小流量持續(xù)循環(huán)，對元器件表面進行精準(zhǔn)沖洗，去除微小雜質(zhì)與殘留污染物，且需避免清洗液泄漏或材質(zhì)污染影響元器件性能。此型號憑借精準(zhǔn)的微小流量調(diào)節(jié)能力，可控制清洗液循環(huán)速率，配合密封強化設(shè)計，防止清洗液滲漏造成設(shè)備損壞與環(huán)境影響。同時，其適配φ6×φ4規(guī)格配管的特性，可無縫集成至清洗液循環(huán)管路，與過濾裝置、循環(huán)泵協(xié)同運作，實現(xiàn)清洗液的高效利用。輕量化與靈活安裝設(shè)計，可適配小型清洗設(shè)備內(nèi)部空間，后期僅需定期檢查密封性能與閥芯靈活性，維護便捷，滿足電子制造業(yè)高效生產(chǎn)需求。
