儀器儀表類
日本USHIO牛尾 分割投影光刻機UX-5系列 UX-5894SC
產品特征:
機械手平臺可移動土50 mm，便于對齊
在可移動的部件上設置傳感器，防止誤操作·更輕量化的設計 ※與本公司的MA-10比較·防止面置掉落的抽板淡根據面置玻璃規格制造適配不規則尺寸的基板*根據基板樣式真空吸附
搭載真空系統，減少屏幕的歪斜特別設計的光學系統，提高配合度采用平行光系統，提高寸法精準度控制熱量對于屏幕的影響，采用排熱設計搭載高精度的積算光量計，提高反復曝光的安定化通過獨自的真空系統，小體型也可以完成大尺寸的曝光
規格:
燒印有效尺寸 1.190*850mmMax尺寸 1.000*1,000mm中心初期照度 6mw/c㎡以上照度分布 80%以上
