試驗力范圍：98.07mN 至 9807mN（即 10gf 至 1000gf），通過表盤設(shè)置試驗力。
試驗力控制：自動完成加載、保持、卸載過程，試驗力保持時間可在 5 至 30 秒內(nèi)任意設(shè)置。
工作臺參數(shù)：XY 工作臺尺寸為 100x100mm，行程為 25x25mm，帶有微分頭，分辨率為 0.01mm。
測量系統(tǒng)：標(biāo)配 10X（用于觀察）和 50X（用于測量）的物鏡。光路為雙路（測量 / 曝光），HM-101 的分辨率為 0.2μm。最大測量長度為 140μm。
數(shù)據(jù)輸出：具備 RS-232C、Digimatic 編碼（SPC）和并口輸出接口，方便數(shù)據(jù)傳輸與記錄。
電源要求：支持 100-120V 或 220-240V AC，50/60Hz 的電源輸入。
外形尺寸與重量：主機尺寸為 410x600x590mm，重量為 42kg；控制裝置尺寸為 165x260x105mm。
求。
