沈陽芯源微電子設備股份有限公司

成立于2002年，專業從事半導體生產設備的研發、生產、銷售與服務，致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。芯源公司座落在沈陽市渾南區，公司占地2萬平米，設置了專業的集成電路工藝開發和檢測實驗室以及半導體設備生產組裝車間。芯源公司通過多年技術積累、創新提高，形成自主知識產權體系，已申請300余項專利，其中發明專利272項；已擁有授權專利145項，其中發明專利127項。沈陽芯源公司作為國內高端半導體裝備制造企業，所開發的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產品，已形成完整的技術體系和豐富的產品系列，可根據用戶的工藝要求量身定制。產品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域?？蓾M足300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。